三坐標測量機的測量系統由標尺系統和測頭系統構成，它們是三坐標測量機的關(guān)鍵組成部分，決定著(zhù)CMM測量精度的高低。

一、標尺系統

標尺系統是用來(lái)度量各軸的坐標數值的，目前三坐標測量機上使用的標尺系統種類(lèi)很多，它們與在各種機床和儀器上使用的標尺系統大致相同，按其性質(zhì)可以分為機械式標尺系統（如精密絲杠加微分鼓輪，精密齒條及齒輪，滾動(dòng)直尺）、光學(xué)式標尺系統（如光學(xué)讀數刻線(xiàn)尺，光學(xué)編碼器，光柵，激光干涉儀）和電氣式標尺系統（如感應同步器，磁柵）。根據對國內外生產(chǎn)CMM所使用的標尺系統的統計分析可知，使用最多的是光柵，其次是感應同步器和光學(xué)編碼器。有些高精度CMM的標尺系統采用了激光干涉儀。

二、測頭系統

      （一）測頭

      三坐標測量機是用測頭來(lái)拾取信號的，因而測頭的性能直接影響測量精度和測量效率，沒(méi)有先進(jìn)的測頭就無(wú)法充分發(fā)揮測量機的功能。在三坐標測量機上使用的測頭，按結構原理可分為機械式、光學(xué)式和電氣式等；而按測量方法又可分為接觸式和非接觸式兩類(lèi)。

      1．機械接觸式測頭

機械接觸式測頭為剛性測頭，根據其觸測部位的形狀，可以分為圓錐形測頭、圓柱形測頭、球形測頭、半圓形測頭、點(diǎn)測頭、V型塊測頭等（如圖9-5所示）。這類(lèi)測頭的形狀簡(jiǎn)單，制造容易，但是測量力的大小取決于操作者的經(jīng)驗和技能，因此測量精度差、效率低。目前除少數手動(dòng)測量機還采用此種測頭外，絕大多數測量機已不再使用這類(lèi)測頭。

2．電氣接觸式測頭

電氣接觸式測頭目前已為絕大部分坐標測量機所采用，按其工作原理可分為動(dòng)態(tài)測頭和靜態(tài)測頭。

      （1）動(dòng)態(tài)測頭

      常用動(dòng)態(tài)測頭的結構如圖9-6所示。測桿安裝在芯體上，而芯體則通過(guò)三個(gè)沿圓周1200分布的鋼球安放在三對觸點(diǎn)上，當測桿沒(méi)有受到測量力時(shí)，芯體上的鋼球與三對觸點(diǎn)均保持接觸，當測桿的球狀端部與工件接觸時(shí)，不論受到X、Y、Z哪個(gè)方向的接觸力，至少會(huì )引起一個(gè)鋼球與觸點(diǎn)脫離接觸，從而引起電路的斷開(kāi)，產(chǎn)生階躍信號，直接或通過(guò)計算機控制采樣電路，將沿三個(gè)軸方向的坐標數據送至存儲器，供數據處理用。

      可見(jiàn)，測頭是在觸測工件表面的運動(dòng)過(guò)程中，瞬間進(jìn)行測量采樣的，故稱(chēng)為動(dòng)態(tài)測頭，也稱(chēng)為觸發(fā)式測頭。動(dòng)態(tài)測頭結構簡(jiǎn)單、成本低，可用于高速測量，但精度稍低，而且動(dòng)態(tài)測頭不能以接觸狀態(tài)停留在工件表面，因而只能對工件表面作離散的逐點(diǎn)測量，不能作連續的掃描測量。目前，絕大多數生產(chǎn)廠(chǎng)選用英國RENISHAW公司生產(chǎn)的觸發(fā)式測頭。

圖9-6 電氣式動(dòng)態(tài)測頭

1—彈簧     2—芯體     3—測桿     4—鋼球   

（2）靜態(tài)測頭

靜態(tài)測頭除具備觸發(fā)式測頭的觸發(fā)采樣功能外，還相當于一臺超小型三坐標測量機。測頭中有三維幾何量傳感器，在測頭與工件表面接觸時(shí)，在X、Y、Z三個(gè)方向均有相應的位移量輸出，從而驅動(dòng)伺服系統進(jìn)行自動(dòng)調整，使測頭停在規定的位移量上，在測頭接近靜止的狀態(tài)下采集三維坐標數據，故稱(chēng)為靜態(tài)測頭。靜態(tài)測頭沿工件表面移動(dòng)時(shí)，可始終保持接觸狀態(tài)，進(jìn)行掃描測量，因而也稱(chēng)為掃描測頭。其主要特點(diǎn)是精度高，可以作連續掃描，但制造技術(shù)難度大，采樣速度慢，價(jià)格昂貴，適合于高精度測量機使用。目前由LEITZ、ZEISS和KERRY等廠(chǎng)家生產(chǎn)的靜態(tài)測頭均采用電感式位移傳感器，此時(shí)也將靜態(tài)測頭稱(chēng)為三向電感測頭。圖9-7為ZEISS公司生產(chǎn)的雙片簧層疊式三維電感測頭的結構。

測頭采用三層片簧導軌形式，三個(gè)方向共有三層，每層由兩個(gè)片簧懸吊。轉接座17借助兩個(gè)X向片簧16構成的平行四邊形機構可作X向運動(dòng)。該平行四邊形機構固定在由Y向片簧1構成的平行四邊形機構的下方，借助片簧1，轉接座可作Y向運動(dòng)。Y向平行四邊形機構固定在由Z向片簧3構成的平行四邊形機構的下方，依靠它的片簧，轉接座可作Z向運動(dòng)。為了增強片簧的剛度和穩定性，片簧中間為金屬夾板。為保證測量靈敏、精確，片簧不能太厚，一般取0.1mm。由于Z向導軌是水平安裝，故用三組彈簧2、14、15加以平衡?？烧{彈簧14的上方有一螺紋調節機構，通過(guò)平衡力調節微電機10轉動(dòng)平衡力調節螺桿11，使平衡力調節螺母套13產(chǎn)生升降來(lái)自動(dòng)調整平衡力的大小。為了減小Z向彈簧片受剪切力而產(chǎn)生變位，設置了彈簧2和15，分別用于平衡測頭Y向和X向部件的自重。

在每一層導軌中各設置有三個(gè)部件：①鎖緊機構：如圖9-7b所示，在其定位塊24上有一凹槽，與鎖緊杠桿22上的鎖緊鋼球23精確配合，以確定導軌的“零位”。在需打開(kāi)時(shí)，可讓電機20反轉一角度，則此時(shí)該向導軌處于自由狀態(tài)。需鎖緊時(shí)，再使電機正轉一角度即可。②位移傳感器：用以測量位移量的大小，如圖9-7c所示，在兩層導軌上，一面固定磁芯27，另一面固定線(xiàn)圈26和線(xiàn)圈支架25。③阻尼機構：用以減小高分辨率測量時(shí)外界振動(dòng)的影響。如圖9-7d所示，在作相對運動(dòng)的上阻尼支架28和下阻尼支架31上各固定阻尼片29和30，在兩阻尼片間形成毛細間隙，中間放入粘性硅油，使兩層導軌在運動(dòng)時(shí)，產(chǎn)生阻尼力，避免由于片簧機構過(guò)于靈敏而產(chǎn)生振蕩。

該測頭加力機構工作原理如圖9-7a所示，其中X向加力機構和Y向加力機構相同（圖中只表示出了X向）。X向加力機構是利用電磁鐵6推動(dòng)杠桿5，使其繞十字片簧8的回轉中心轉動(dòng)而推動(dòng)中間傳力桿7圍繞波紋管4組成的多向回轉中心旋轉，由于中間傳力桿與轉接座17用片簧相連，因而推動(dòng)測頭在X方向“預偏置”。Z向加力機構是利用電磁鐵9產(chǎn)生的，當電磁鐵作用時(shí)，在Z向產(chǎn)生的上升或下降會(huì )通過(guò)頂桿12推動(dòng)被懸掛的Z向的活動(dòng)導軌板，從而推動(dòng)測頭在Z方向“預偏置”。

（3）光學(xué)測頭

在多數情況下，光學(xué)測頭與被測物體沒(méi)有機械接觸，這種非接觸式測量具有一些突出優(yōu)點(diǎn)，主要體現在：1）由于不存在測量力，因而適合于測量各種軟的和薄的工件；2）由于是非接觸測量，可以對工件表面進(jìn)行快速掃描測量；3）多數光學(xué)測頭具有比較大的量程，這是一般接觸式測頭難以達到的；4）可以探測工件上一般機械測頭難以探測到的部位。近年來(lái)，光學(xué)測頭發(fā)展較快，目前在坐標測量機上應用的光學(xué)測頭的種類(lèi)也較多，如三角法測頭、激光聚集測頭、光纖測頭、體視式三維測頭、接觸式光柵測頭等。下面簡(jiǎn)要介紹一下三角法測頭的工作原理。

如圖9-8所示，由激光器2發(fā)出的光，經(jīng)聚光鏡3形成很細的平行光束，照射到被測工件4上（工件表面反射回來(lái)的光可能是鏡面反射光，也可能是漫反射光，三角法測頭是利用漫反射光進(jìn)行探測的），其漫反射回來(lái)的光經(jīng)成像鏡5在光電檢測器1上成像。照明光軸與成像光軸間有一夾角，稱(chēng)為三角成像角。當被測表面處于不同位置時(shí)，漫反射光斑按照一定三角關(guān)系成像于光電檢測器件的不同位置，從而探測出被測表面的位置。這種測頭的突出優(yōu)點(diǎn)是工作距離大，在離工件表面很遠的地方（如40mm～100mm）也可對工件進(jìn)行測量，且測頭的測量范圍也較大（如±5mm～±10mm）。不過(guò)三角法測頭的測量精度不是很高，其測量不確定度大致在幾十至幾百微米左右。

（二）測頭附件

為了擴大測頭功能、提高測量效率以及探測各種零件的不同部位，常需為測頭配置各種附件，如測端、探針、連接器、測頭回轉附件等。

1．測端

      對于接觸式測頭，測端是與被測工件表面直接接觸的部分。對于不同形狀的表面需要采用不同的測端。圖9-9為一些常見(jiàn)的測端形狀。

圖9-9a為球形測端，是最常用的測端。它具有制造簡(jiǎn)單、便于從各個(gè)方向觸測工件表面、接觸變形小等優(yōu)點(diǎn)。

圖9-9b為盤(pán)形測端，用于測量狹槽的深度和直徑。

圖9-9c為尖錐形測端，用于測量凹槽、凹坑、螺紋底部和其它一些細微部位。

圖9-9d為半球形測端，其直徑較大，用于測量粗糙表面。

圖9-9e為圓柱形測端，用于測量螺紋外徑和薄板。

2．探針

　　探針是指可更換的測桿。在有些情況下，為了便于測量，需選用不同的探針。探針對測量能力和測量精度有較大影響，在選用時(shí)應注意：1）在滿(mǎn)足測量要求的前提下，探針應盡量短；2）探針直徑必須小于測端直徑，在不發(fā)生干涉條件下，應盡量選大直徑探針；3）在需要長(cháng)探針時(shí)，可選用硬質(zhì)合金探針，以提高剛度。若需要特別長(cháng)的探針，可選用質(zhì)量較輕的陶瓷探針。

3．連接器

為了將探針連接到測頭上、測頭連接到回轉體上或測量機主軸上，需采用各種連接器。常用的有星形探針連接器、連接軸、星形測頭座等。

　　圖9-10為星形測頭座示意圖，其上可以安裝若干不同的測頭，并通過(guò)測頭座連接到測量機主軸上。測量時(shí)，根據需要可由不同的測頭交替工作。

4．回轉附件

對于有些工件表面的檢測，比如一些傾斜表面、整體葉輪葉片表面等，僅用與工作臺垂直的探針探測將無(wú)法完成要求的測量，這時(shí)就需要借助一定的回轉附件，使探針或整個(gè)測頭回轉一定角度再進(jìn)行測量，從而擴大測頭的功能。

常用的回轉附件為如圖9-11a所示的測頭回轉體。它可以繞水平軸A和垂直軸B回轉，在它的回轉機構中有精密的分度機構，其分度原理類(lèi)似于多齒分度盤(pán)。在靜盤(pán)中有48根沿圓周均勻分布的圓柱，而在動(dòng)盤(pán)中有與之相應的48個(gè)鋼球，從而可實(shí)現以7.5o為步距的轉位。它繞垂直軸的轉動(dòng)范圍為360o，共48個(gè)位置，繞水平軸的轉動(dòng)范圍為0o～105o，共15個(gè)位置。由于在繞水平軸轉角為0o（即測頭垂直向下）時(shí)，繞垂直軸轉動(dòng)不改變測端位置，這樣測端在空間一共可有48×14＋1＝673個(gè)位置。能使測頭改變姿態(tài)，以擴展從各個(gè)方向接近工件的能力。目前在測量機上使用較多的測頭回轉體為RENISHAW公司生產(chǎn)的各種測頭回轉體，圖9-11b為其實(shí)物照片。