納米級三坐標測量機
[2013-03-21]
納米三坐標測量機科技是當今的前沿科技領(lǐng)域，然而只有當能夠對納米尺度進(jìn)行測量時(shí)納米科技才能成為真正的科學(xué)。目前納米尺度的測量已從一維測量走向三維測量。圖11 是德國伊爾梅諾大學(xué)研制的世界上第一臺商品納米三坐標測量機。我國臺灣大學(xué)教授、合肥工業(yè)大學(xué)長(cháng)江教授范光照也與合肥工業(yè)大學(xué)一起研制了我國第一臺納米三坐標測量機。這些測量機都具有以下特點(diǎn)。（1）采用具有納米分辨力的原子力顯微鏡或近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡等作為測頭。（2）采用激光標尺，以實(shí)現米定義的溯源。（3）采用高精度細分技術(shù)獲得納米分辨力。（4）采用微晶玻璃等零膨脹系數材料構筑測量機主體測量框架，消除溫度的影響。（5）在結構布局上盡可能符合阿貝原則，減小阿貝誤差。（6）采用電容傳感器等測量移動(dòng)部件的角運動(dòng)誤差，并采用硬件補償調整或軟件補償的方法減小角運動(dòng)誤差的影響。
納米三坐標測量機
